晶圆自动光学检测机
晶圆自动光学检测机
基本参数
安装尺寸
详细参数
微米级晶圆缺陷检测设备，其适用于0.5-1um工艺产线的IC有图形和无图形晶圆缺陷检测。
应用实例
krickfan@syfeng.cn
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